1974年第一台以电咸耦合等离子体（ICP）作为激发光源的ICP发射光谱仪问世。1983年ICP质谱仪开始推出，并很快确立了基市场地位。ICP质谱具有极高的灵敏感度、极少的干忧，使分析结果更为精确，由于ICP质谱的检出限极低所以，所以仪器需要在洁净室中动行，以免受环境污染的影响。
SPECTRO最新推出电感耦合等离子体质谱仪SPECTRO MS型ICP质谱仪是现代科学技术的重大突破，是全新性能与优势的展现，SPECTRO MS 是目前市场上唯一的从6Li到238U质量范围全谱同时测量的ICP质谱仪，它使IPC质谱仪的能力从时序扫描测量跨跃到全谱同时测量的新阶段，不仅提高了测量的精密度和准确度，同时也大大缩短了样品的测量时间。
这种独有的新技术的核心是双聚焦Mattauch-Herzog扇形场质谱技术，与全新的同时俘获全部离子检测器的完美组合。SPECTRO MS所采用的检器为“直接电荷检测器（DCD）”，具有4800个通道同，时俘获全部同位素。在同时检测模式下所，需检测的质不再像传统的ICP质谱仪那样顺序测量花费时间，而是瞬间同获取全部的质谱。每次测量的全质谱信息可永久保存，事后处理分析。
SPECTRO MS每个组件都经过优化设计和最佳选择具，有杰出的分析性能而且操作简单。其便函于维护的整体设计，采用了可靠耐用的真空系统和冷却系统，灵活的进样系统，耐盐分的接口，极为高效的离子透镜和非常简易的操作，SPECTRO MS具有许多独有的仗势。
应用
MS是世界唯一的ICP - MS同时记录完全测量从6Li到238U所有元素 - 结合优良的检测限和测量时间短精度最高。
卓越的分析性能，极磊地减少了测量时间可，方便地连接各种附件和自动装置，实现无人值守操作。SPECTRO MS完全满足大多数的分析应用要求可广泛地应用于院校与工业研究机构、地质、矿产与金属工业农业与食品、环境、石油、化学工业、核工业、医学、生物与制药、半导体等而下之领域。新应用技术，尤其是结合种分离技术的应用在不断发展，而SPECTRO MS是承担这些任务的最佳选择。
- 双聚焦扇形场质谱仪，最新设计的离子透镜和首创的检测器
- 全谱同时测量高，高灵敏度、高精密度以及最快的样品分析速率
- 强力的真空系统和免维护的自激振荡发生器
- 快速指纹识别实时内标校正，瞬时信号检测，同位素比值和同位素稀释测量
- ICAL系统校正保证最佳的运行状态
- 符合EPA、FDA、CLP和21CFR Part 11的规范要求以及其它相关标准。
