CPAES (Inductively Coupled Plasma atomic emission spectrometry)电感耦合等离子体原子发射光谱仪，ICP-AES等离子体发射光谱仪是近三十年迅速发展的一种十分理想的痕量元素分析仪器.它基于物质在高频电磁场所形成的高温等离子体中,有良好特征谱线发射,进而实现对不同元素的测定.它具有检出限极低、重现性好，分析元素多等显著特点。附特殊装置还可以实现更多非金属元素的测量。
ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 电感耦合等离子体发射光谱仪，现在的称呼。因为现在icp发射光谱技术用到了越来越多的离子线，"原子发射光谱仪"已经不是那么科学，所以现在都叫oes了。ICPOES可同时分析常量和痕量组分，无需繁复的双向观测，还能同时读出、无任何谱线缺失的全谱直读等离子体发射光谱仪,快速、线性范围宽等优点。
ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 电感耦合等离子体质谱仪，ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体，ICP-AES和ICP-MS的进样部分及等离子体是极其相似的。ICP-AES测量的是光学光谱（120nm～800nm），ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。还可测量同位素测定。尤其是其检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-AES大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素也可得到亚ppb级的检出限。但由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS的检出限实际上会变差多达50倍，一些轻元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有严重的干扰，其实际检出限也很差。
